如果能確定污染物種類，就可以對活性炭材料進行有針對性的化學處理，以增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應(yīng)商有時還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場檢測服務(wù)，以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況，這就要求供應(yīng)商中有搞化學過濾的專家，并與名氣大的化學實驗室有密切的關(guān)系。遺憾的是，國內(nèi)過濾器廠商沒有幾家在那上面下功夫，所以國內(nèi)芯片廠目前使用的化學過濾器多數(shù)是進口產(chǎn)品。半導(dǎo)體工業(yè)并非人們普遍認為的“無煙工業(yè)”，它也有環(huán)境問題。那里經(jīng)常采用新的工藝和材料，有些化學物品在其安全性尚未得到評估前就已經(jīng)大量使用了，稍不小心就會造成嚴重的化學污染，既有地下水污染，也有空氣污染，硅谷就曾為此付出過驚人的代價。為了保險，有些企業(yè)在排風系統(tǒng)中也使用化學過濾器。

中國正處在新一輪芯片廠建設(shè)的狂熱中，為此，今后幾年國內(nèi)需要數(shù)億元的高效過濾器和化學過濾器，以配套半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，這是一個挑戰(zhàn)，也是一個契機。

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